KRI聚焦型射频离子源RFICP380用于制备超薄TEM样品

交叉减薄

交叉减薄的过程利用 TEM 样品台的旋转来完成, 如下图.

TEM 样品台模型图

伯东 KRI 聚焦型射频离子源 RFICP 380 技术参数:

推荐理由:

使用 KRI 聚焦型射频离子源 RFICP 380 可以准确、灵活地对样品选定的区域进行刻蚀、沉积和减薄.

运行结果:

1. 通过利用 KRI 聚焦型射频离子源 RFICP 380 和样品台交叉减薄得到的薄区非常均匀, 边缘整齐. 相比较传统减薄方法, 交叉减薄避免了样品在倾斜52°和56°减薄时出现的边缘收缩问题和远端薄区弯曲问题.

2. 对于复合材料大大降低了位于两相界面处薄区的厚度, 提高了样品质量, 提高了制样的成功率和效率.

伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

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