伯东 KRI 考夫曼平行型射频离子源 RFICP 220 技术参数:
portant;">
离子源型号 |
portant;">
RFICP 220 |
portant;">
Discharge |
portant;">
RFICP 射频 |
portant;">
离子束流 |
portant;">
>800 mA |
portant;">
离子动能 |
portant;">
100-1200 V |
portant;">
栅极直径 |
portant;">
20 cm Φ |
portant;">
离子束 |
portant;">
平行 |
portant;">
流量 |
portant;">
10-40 sccm |
portant;">
通气 |
portant;">
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
portant;">
典型压力 |
portant;">
< 0.5m Torr |
portant;">
长度 |
portant;">
30 cm |
portant;">
直径 |
portant;">
41 cm |
portant;">
中和器 |
portant;">
LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
推荐理由:
使用 KRI 考夫曼平行型射频离子源 RFICP 220 可以准确、灵活、有效地对样品选定的区域进行清洗.
运行结果:
对基体材料表面进行离子清洗, 使得基体材料表面与将要沉积的薄膜性非常接近, 这样得到的薄膜与基体结合非常牢固, 薄膜质量很好.
伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国HVA 真空阀门, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.
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