KRI 霍尔离子源控制器成功替换取代 Veeco 控制器

美国考夫曼公司 KRI 霍尔离子源控制器已成功替换取代 Veeco Commonwealth 控制器, 完全不需更改任何镀膜机计算机程序及相关设定即可直接运做.

KRi (考夫曼) 霍尔源控制器有全自动控制器 (Auto Co***oller), 灯丝控制器 (Filament Co***oller),阳极控制器 (Discharge Co***oller), 运作时选择全自动匹配 (Auto Gas), 半自动 (Manual Gas) 匹配及全手动匹配 (Gas Only) 三种操作选项. 在全自动逼配模式自动控制器依照客户所设定之阳极电流 (Vd) 及阳极电压 (ID) 自动调整气体以维持工艺所需要的离子束能量. 全自动控制器可以记忆四组离子参数, 工艺中更换参数组别时可以在离子束点火中直接切换参数组别, 不需重新熄火做点燃离子束, 以达到最稳定的离子束状态.

实际案例:

1. 设备: 1.3 米镀膜机.
2. 基材: 塑料护目镜.
3. 离子源条件: Vb:140V(离子束阳极电压), Ib:2.5A(离子束阳极电流), O2 gas: 9sccm(氧气).
4. 图片:

上海伯东是美国考夫曼离子源 Kaufman & Robinson, Inc 中国总代理. 美国 KRI 霍尔离子源全自动匹配, 四组参数记忆, 可同时控制四种气体流量的设计, 绝对可以提供更方便的操做及获得更稳定的离子束.可以完全替换 Veeco, Commonwealth, 国产霍尔离子源控制器.

KRI 霍尔离子源控制器 (End Hall Co***oller) 型号: 全自动控器 (Auto co***oller), 灯丝控制器(Filament Co***oller), 阳极控制器 (Discharge Co***oller)

上海伯东是德国 Pfeiffer 真空泵, 检漏仪, 质谱仪, 真空计, 美国 KRI 考夫曼离子源, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 Ambrell 感应加热设备和日本 NS 离子蚀刻机等进口知名品牌的指定代理商.

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