由于耐腐蚀真空泵叶轮入口处的压力低于工作水温时的饱和压力，部分液体蒸发。当蒸发的气泡进入压力比高的地方时，气泡会在压力下破裂，破裂后会产生强大的冲击力，撞击叶轮或泵壳。这种连续的局部冲击载荷逐渐导致金属表面疲劳直至剥蚀，然后出现不同尺寸的蜂窝腐蚀孔。由液体汽化、气泡产生和气泡破裂引起的这一系列现象被称为“气蚀现象”。
耐腐蚀真空泵发生气蚀，因为在泵体入口附近有一些局部低压区域，该区域的压力会降低介质的饱和蒸汽压，导致一小部分介质蒸发。因此在耐腐蚀真空泵中，能够将离心泵入口处的局部压力降低到低于介质的汽化压力的因素是空化的主要诱因。
如果要解决耐腐蚀真空泵的气蚀现象，需要从以下三点入手:一是吸入装置的特点；二是泵本身的结构；三是被输送介质的特性。如果从根本上解决这个问题，就可以降低它的频率，提高泵的效率。
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