水汽捕集泵(Water Vapor Cryochiller), 主要用于辅助抽真空以及改善真空质量, 在真空度 1 至 10-6 Pa 之间捕集真空腔内水汽和油分子, 提升产品的产能和成膜质量.。
原理
在真空腔体内,水气分子是最典型的环境污染气体,占腔内残余气体 65% 到 95% ,当真空度达到 10-2Pa时,水汽分子用平常真空泵难排出腔体,为了快速的达到较高的真空度,水汽深冷泵快速捕集和吸附真空腔内的水汽,辅助抽真空,极短的时间达到 需求的真空度。
应用
工厂大批量镀膜
实验及科研院所-镀膜