光氧催化废气处理设备利用光束照射恶臭气体，裂解恶臭气体如：氨、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOC类，苯、甲苯、二甲苯的分子链结构，使或无机高分子恶臭化合物分子链，在紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，如CO2、H2O等。

河北清大光氧催化废气处理设备利用高臭氧UV紫外线光束分解空气中的氧分子产生游离氧，即活性氧，因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，进而产生臭氧。UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧),众所周知臭氧对物具有的氧化作用，对恶臭气体及其它刺激性异味有的   效果。

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