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    深圳市威固特超声波科技开发有限公司

    超声波清洗机、纯水机、冷水机、冷油机、波箱清洗机、高压喷淋清洗机、通过式喷淋烘干式超声波清洗机

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    VGT-15204FST硅片晶圆超声波清洗机

    产品价格面议

    产品品牌威固特

    最小起订≥2 套

    供货总量4 套

    发货期限自买家付款之日起 30 天内发货

    浏览次数16

    企业旺铺http://www.shangyi.com/gongsi/szweigute/

    更新日期2021-02-03 09:30

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    深圳市威固特超声波科技开发有限公司

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    商品信息

    基本参数

    品牌:

    威固特

    所在地:

    广东 深圳市

    起订:

    ≥2 套

    供货总量:

    4 套

    有效期至:

    长期有效
    详细说明

    型号:VGT-15204FST

           产品特点:

                   1、械手或多机械手组合,实现工位工艺要求。

     2PLC全程序控制与触摸屏操作界面,操作便利。

     3、自动上下料台,准确上卸工件。

     4、净化烘干槽,独特的烘干前处理技术,工作干燥无水渍。

     5、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。

     6、具备抛动清洗功能,保证清洗均匀。

     7、全封闭清洗均匀。

     8、全封闭外壳与抽风系统,确保良好工作环境。

    应用范围:

     1、炉前清洗:扩散前清洗。

     2、光刻后清洗:除去光刻胶。

     3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。

     4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。

     5、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。

     6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。

     7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。

     8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSGPSG

     9CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。

     10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污

    技术参数:

    超声波功率:10.2KW

    超声波频率:28,40,60KHZ

    换能器数量:204

    电源电压:220V

    技术优势:

    硅片晶圆生产清洗工艺中,使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。清洗硅片晶圆同时也采用了: 三套独立的电脑控制机械臂自动化作业;第三代最新技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落 ;独特的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕 ;成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身

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