产品名称：微波化学气相沉积炉 型号：WBMW-QXCJ4
产品特点：
1. 才用纯微波加热或混合加热方式，可加热包括金属在内的任何材料;
2. 升温速率快，智能控温，可分段设置，控温精度高，热惯性小。此管式炉可同时加热多个温区，且加热区长度可调。
3. 可通各种气氛，抽真空有机械泵、扩撒泵和分子泵，可达10-3Pa真空状态。
4、炉体采用不锈钢密封法兰（铰链结构），耐高温、耐腐蚀；
5、保护管采用耐高温合金管 ，气管采用卡套或VCR接口，安装方便；
6、炉体配有自动冷却风扇，降低温度；
7、真空系统：机械泵 扩散泵和分子泵，真空密度计;
8、可通过电脑全程监控和调试.
产品参数：
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型号（model） |
WBMW-QXCJ4 |
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可加热材料 |
非易燃易爆的任何材料 |
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微波频率 |
2.45GHz±50MHz |
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加热方式 |
纯微波加热、～传统电加热、混合加热 |
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最大功率（KW） |
4 (功率可调) |
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温度测试元件 |
微波场专用传感器 |
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控温精度（℃） |
±2(微波场专用传感器) |
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加热管材质 |
石英管 |
高温合金管 |
刚玉管 |
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加热管加热最高温度（℃） |
1200 |
1200 |
1600 |
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管径炉管尺寸(mm) |
φ45×1200×2.5，可选配，最大外径φ65 |
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炉管尺寸（℃/min） |
≤200 |
升温速率不限 |
≤50 |
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恒温区长度（mm） |
标配恒温区长度100，恒温区长度100～1000以上可选 |
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温区 |
可多温区同时加热 |
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气路法兰 |
不锈钢法兰 |
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质量流量控制(选配) |
1.美国Alicat质量流量&控制器或七星华创质量流量&控制器； 2.气柜、气路及各类阀门； 3.可配套计算机自动控制系统及软件 |
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气路数量 |
依据用户需求≥2路 |
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流量范围 |
0～1SLM(标准升/分，可选配)氮气标定 |
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精度 |
±0.2﹪F.S |
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响应时间（s） |
≤1 |
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工作压力 |
进气压力0.05～0.35Mpa(压力表) |
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系统连接方式 |
采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 |
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系统真空范围 |
标准大气压～10-3Pa |
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真空泵(选配) |
简单机械泵抽真空和不锈钢法兰 10-1Pa真空用高档机械泵及真空计 10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计 10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计 |
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谐振腔尺寸（mm） |
700×350×530 |
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加热腔(标配) |
根据管径、加热区长度、加热温区数量确定 |
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升温速率(℃/min) |
0～1000范围内任意设定，可编程、分段加热 |
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温度控制系统 |
采用PLC控制，触摸屏操作 |
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主机外型尺寸(mm) |
1500´750´1560 |
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微波泄漏(Mw/cm2) |
≤0.4 |
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提供相关配件 |
高温手套×1副、中文说明书×1本、样品钩×1个 |
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保修期 |
整机免费保修1年 |
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