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    天津市中环电炉股份有限公司

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    化学气相沉积电炉 化学气相沉积电炉 高温真空烧结炉

    产品价格面议

    产品品牌中环电炉

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    发货期限自买家付款之日起 3 天内发货

    浏览次数7

    企业旺铺http://www.shangyi.com/gongsi/ctjzh888/

    更新日期2022-06-20 10:14

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    天津市中环电炉股份有限公司

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    天津市中环电炉股份有限公司

    联 系  人:黄女士(女士) 经理 

    联系手机:15122725930

    联系固话:022-26980130

    联系地址:天津北辰科技园区双川道11号

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    商品信息

    基本参数

    品牌:

    中环电炉

    所在地:

    天津

    起订:

    未填

    供货总量:

    未填

    有效期至:

    长期有效
    详细说明

    天津中环电炉股份有限公司
    联系人:黄女士 022-26980130 
    手  机:15122725930        
    QQ: 2258734449
    邮箱: ctjzh2828@126.com
    地址: 天津北辰科技园区双川道11号
    网址: http://www.ctjzh.com/


     

    产品用途

    PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

    PECVD系统配置;

    1.1200度开启式滑动单温区真空管式炉

    2.等离子射频电源

    3.多路质量流量控制系统

    4.真空系统单独购买)

    产品特性;

    电源范围广;温度范围宽;溅射区域长;整管可调;精致小巧,性价比高,可实现快速升降温,是实验室生长薄膜石墨烯,金属薄膜,陶瓷薄膜,复合薄膜等的理想选择,也可作为扩展等离子清洗刻蚀使用。

    <TD style="BOX-SIZING: border-box; BORDER-TOP: medium none; BORDER-RIGHT: windowtext 1pt solid; WIDTH: 231px; BACKGROUND: rgb(217,217,217); BORDER-BOTTOM:

    系统名称

    集成型PECVD系统

    1200℃小型PECVD系统

    系统型号

    PECVD-12IH-500A

    PECVD-12IH-4Z/G

    控制方式

    液晶屏微PLC控制系统

    手动

    温度

    1200

    加热区长度

    200mm

    恒温区长度

    100mm

    温区

    单温区

    石英管管径

    Φ60mm

    Φ50mm

    额定功率

    1.2Kw

    2Kw

    额定电压

    220V

    滑动方式及距离

    自动滑动;200mm

    手动滑动;200mm

    温度控制

    30段程序控温

    50段程序控温

    控制精度

    ±1

    炉管工作温度

    1200

    气路法兰

    采用多环密封技术卡箍快速连接

    排风冷却装置

    先进的空气隔热技术,结合热感应技术,当炉体表面温升到50℃时,

    排温风扇将自动启动,使炉体表面快速降温。

    气体控制方式

    质量流量计按键式)

    气路数量

    22-4路)

    4路可根据具体需要选配气路数量)

    流量范围

    0-500sccm(标准毫升/分,可选配)氮气标定

    精度

    ±1%F.S

    响应时间

    1sec

    工作温度流量计)

    20-120

    工作压力

    进气压力0.05-0.3Mpa(表压力)

    进气方式

    采用防倒流设计

    规格

    中真空集成型请单独购买)

    系统真空范围

    10Pa-100Pa

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