光氧催化设备与其他废气处理设备相比，不仅可以净化有机废气还可以消毒杀菌，这得益于装置中高能臭氧UV紫外线极强的氧化性，可以破坏细菌病毒的DNA分子结构。
在净化有机废气方面，光氧催化设备可处理的废气成分有：氨、C3H9N、硫化氢、甲硫氢、甲硫醇、甲硫醚、乙酸丁酯、乙酸乙酯、二甲二硫、二硫化碳、C8H8、硫化物、VOC类、C6H6、C7H8、C8H10等。
光氧催化废气处理设备的作用机理是：利用高能高臭氧UV紫外线光束（以下简称UV紫外线光束）裂解废气分子结构，使有机高分子化合物分子链断裂，转变成CO2、H2O等低分子无机化合物。
UV紫外线光束可以把空气中的氧分子裂解生成游离氧（即活性氧），因游离氧所携正负电子不平衡所以需与氧分子结合，产生臭氧。反应方程式如下：
UV＋O2→O-+O＊(活性氧)O+O2→O3(臭氧)
臭氧对有机物具有较强的氧化作用，尤其是对工业有机废气。废气经排风设备通入到反应室后，UV紫外线光束及臭氧对废气进行分解氧化反应，使之降解为低分子化合物，再通过排风管道排出室外。
初级电子在电场中获得加速，撞击空气中的氧分子，当能量超过氧分子的电离电位时，氧分子迅速离子化。失去电子的氧分子变成正极性氧离子（O2+），而释放的电子又与另一中性氧分子结合变成负极性氧离子（O2-），结果是氧离子的两级分化并吸附中性氧分子形成O2+、O2-、O2等聚集的离子群，可在很短的时间内将污染空气中的有害成分氧化分解为无害的产物和水；
此外UV紫外线光束还可以破坏细菌的DNA序列以达到杀菌消毒的目的。从废气处理的角度考虑，采用脉冲电晕吸附技术，-C波段紫外线结合电晕装置，可破坏硫化氢、氨、C6H6、C7H8、C8H10、甲醛、乙酸乙酯、乙烷、C3H6O、尿烷、树脂等废气分子的分子结构，使有机物转变为无机物。
