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    小型溅射仪

    产品价格面议

    产品品牌郑科探

    最小起订≥1 台

    供货总量99 台

    发货期限自买家付款之日起 30 天内发货

    浏览次数0

    企业旺铺http://www.shangyi.com/gongsi/zzktyq/

    更新日期2024-07-09 10:00

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    联系地址:河南省大学科技园东区6幢

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    商品信息

    基本参数

    品牌:

    郑科探

    所在地:

    河南 郑州市

    起订:

    ≥1 台

    供货总量:

    99 台

    有效期至:

    长期有效
    详细说明

    小型溅射仪:KT—Z1650PVD是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪,仪器虽小功能齐全,配备有电压,电流反馈,样品台旋转,样品高度可调节及电动挡板功能。通过定时调节预溅射功率及薄膜沉积功率,可对大部分金属进行均匀物理沉积,真空腔室为透明石英玻璃减少样品污染,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。

    小型溅射仪的技术参数:

    控制方式

    7寸人机界面 手动 自动模式切换控制

    溅射电源

    直流溅射电源

    镀膜功能

    0-9995段可变换功率及挡板位和样品速度程序

    功率

    1000W

    输出电压电流

    电压≤1000V  电流≤1A

    真空

    机械泵 ≤5Pa5分钟)   分子泵≤5*10^-3Pa

    溅射真空

    30Pa

    挡板类型

    电控

    真空腔室

    石英+不锈钢腔体φ160mm x 170mm

    样品台

    可旋转φ62  (可安装φ50基底)

    样品台转速

    8/分钟

    样品溅射源调节距离

    40-105mm

    真空测量

    皮拉尼真空计(已安装 测量范围10E5Pa  1E-1Pa

    预留真空接口

    KF25抽气口    KF16放气口   6mm卡套进气口




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