分子泵的原理
分子泵 (Molecular pump)是一种用于实现和维持高真空和超高真空环境的设备。它的工作原理基于气体分子的动量传递，通过机械手段将气体分子从真空系统中排出。
工作原理
分子泵的工作过程可以概括为以下几个步骤
1.旋转叶片:
分子泵内部有高速旋转的叶片(或称转子)，通常以每分钟数万转的速度旋转。
叶片与定子之间形成非常小的间隙。
2.气体分子的动量传递:
气体分子在碰撞到高速旋转的叶片时，会被赋予动量。
这种动量使得气体分子沿叶片的旋转方向被加速，逐步向泵的排气口移动。3.多级结构:
分子泵通常具有多级叶片结构，通过多次碰撞和动量传递，使气体分子逐级排出
每一级都进一步降低系统的压力，达到所需的真空度。
分子泵的优势
分子泵在高真空和超高真空应用中具有许多显著的优势:
1.高真空度:
分子泵能够实现和维持非常高的真空度，通常可达到 10-9 Torr 甚至更低
适用于超高真空应用，如电子显微镜、表面科学研究等。
2.无油污染:
分子泵为干式泵，不使用油进行润滑或密封，因此避免了油污染。
特别适用于需要超高洁净度的真空环境。
3.高效:
由于其高转速和多级结构，分子泵能够在较短时间内达到目标真空度，适合需要快速抽真空的应用，如半导体制造和实验室设备。
4.耐用性:
分子泵结构坚固，耐用性高，能够长时间连续运行。
维护成本较低，因为没有油的污染和相关的维护问题。
5.竞压力范围:
分子泵能够在宽范围的压力下工作，从大气压一直到超高真空。
能够与其他类型的真空泵(如粗真空泵)联用，实现更广泛的应用。
应用
分子泵被广泛应用于各种需要高真空和超高真空的领域，包括但不限于
半导体制造:用于光刻、沉积和蚀刻等工艺中。
真空镀膜:用于制造光学薄膜和装饰涂层。
电子显微镜:提供必要的超高真空环境以确保高分辨率
加速器和粒子物理实验:维持实验室中的高真空条件。
航空航天:用于模拟空间环境和测试卫星部件。
总之，分子泵以其高效、无油污染和高真空度等优势，成为现代真空技术中的重要设备。
移动式分子泵真空机组KT-150YCF技术参数：
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控制方式 |
手动人机界面控制 |
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前级泵接口 |
KF25（客户根据真空环境洁净度要求自行安装前级泵） |
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分子泵 |
FF-100/150 51000转/分 |
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分子泵抽气速率 |
140L/S |
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分子泵启动时间 |
≤2min |
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空载极限压强 |
≤1X10-4Pa |
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真空测量方式 |
冷阴极标准规管 |
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真空测量范围 |
1E﹢2到1E-5 Pa |
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真空测量精度 |
1E-4到1E-5 Pa ±40%的读数 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的读数 重复性： ±5% |
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抽气接口 |
KF25 |
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阀门类型 |
KF25手动挡板阀 |
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系统电源 |
AC220V |
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系统功率 |
≤750W |
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环境温度 |
5~32℃ |
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冷却方式 |
强制风冷却 |
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湿度 |
≤80%RH |
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外形尺寸 |
250 X360 X 300mm （宽-深-高） |
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重量 |
25KG |
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随机配件：KF25高真空挡板阀X1个 KF25卡箍X3个 kf25-1米不锈钢波纹管x1根 说明书X1本 电源线x1根 冷阴极真空计X1个 |
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