等离子刻蚀机：
*对金属、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有机污染物 （如石蜡、油污、脱膜剂、蛋白等）进行超AA清洗。
*改变某些材料表面的性能。
*使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化，加强这些材料的粘附性、相容性和浸润性。
*清除金属材料表面的氧化层。
*对被清洗物进行消毒、杀菌。
优点：
具有性能稳定，性价比高，操作简便，使用成本低，易于维护的特点。对各种几何形状，表面粗糙程度各异的金属，陶瓷，玻璃，硅片，塑料等物件表面进行超清洗和改性，完全彻底地清除样品表面的有机染物。
等离子刻蚀机 技术参数
|
供电电源 |
AC220V（AC110V可选) |
|
工作电流 |
整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) |
|
射频电源功率 |
150W |
|
射频频率 |
13.56MHz |
|
频率偏移量 |
＜0.2MHz |
|
特性阻抗 |
50欧姆，手动匹配 |
|
耦合方式 |
电容耦合 |
|
真空度 |
≤50Pa |
|
腔体材质 |
高纯石英 |
|
腔体容积 |
Φ100mmX200mm |
|
旋转速度 |
20转/分钟 |
|
气体流量 |
0—300ml/min |
|
过程控制 |
手动控制 |
|
清洗时间 |
手0-999秒 |
|
外形尺寸 |
615X390x560mm |
|
重量 |
56Kg |
|
真空室温度 |
小于65°C |
|
冷却方式 |
强制风冷 |
|
标配 |
KF16真空管1米，kf16卡箍2个，不锈钢网匣1个，电源线一根，说明书一本。
|
