一：产品参数
1． 产品名称：新微型高低温探针台
2． 产品型号： KT-Z4019M4T-RL
3． 产品品牌：郑科探 Zhengketan
4． 生产厂家：郑州科探仪器设备有限公司 二：功能要求
KT-Z4019MRL4T 测试腔体内部装有不锈钢加热或制冷承载台，台面为φ30，台 面最高可升温到最高 400℃。台面四周装有微型 3 轴可移动钨钢探针，特别适合微小 未封装的叉指电极等传感器测试。该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械 泵可达＜5Pa 分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用军工级别真空电极信号接头， 保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针顶尖处由 3 轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测 试电学信号
三：主要技术要求
1． 腔体材质 ：304 不锈钢 6061 铝合金 可选
2． 腔体内尺寸： 127mmX57mmX20mm
3． 腔体外尺寸： 150mmX80mmX32mm
4． 腔体重量：不锈钢材质 约 1.5KG 铝合金材质 约 0.5KG
5． 腔体上视窗尺寸：Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离）
6． 腔体抽气口： KF16 法兰（其余接口规格可转接）
7． 腔体真空测量口： KF16 法兰（其余接口规格可转接）
8． 腔体进气口 ：6mm 快拧 或 6mm 快插
9． 腔体冷却方式：腔体水冷+上盖气冷
10． 腔体水冷接口： 6mm 快插
11． 允许正压： ≤0.05MPa
12． 腔体真空度：机械泵≤5Pa （ 5 分钟） 分子泵≤5E-3Pa（ 30 分钟）
13． 样品台材质：不锈钢 银铜合金 纯银块银铜合金 纯银块
14． 样品台尺寸： 26x26mm
15． 样品台加热方式 ：电阻加热 液氮制冷
16． 样品台-视窗 距离：11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离 到 6mm）
17． 样品台测温传感器： PT100 型热电阻
18． 样品台温度：室温到 400℃ 室温到-190℃
19． 样品台测温误差： ±0.5℃
20． 样品台升温速率：高温 100℃/min 最大值 低温 7℃/min
21． 温度显示： 7 寸人机界面
22． 温控类型：标准 PID 温控 + 自整定
23． 温度分辨率 ：0.1℃
24． 温控精度： ±0.5℃
25． 温度信号输入类型： PT100 （可选 K S B 型热电偶）
26． 温控输出：直流线性电源加热+液氮流速控制器
27． 辅助功能：温度数据采集并导出 实时温度曲线+历史温度曲线 可扩展真 空读数接口
28． 温控器尺寸 ：32cmX170cmX380cm
29． 温控器重量：约 5.6KG
30． 电信号接头：配线转接 BNC 接头 BNC 三同轴接头 SMA 接头 香蕉 插头 线长 1.2 米
31． 电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤200V 电流噪声 ≤ 10pA
32． 探针数量：4 探针（可扩展 5 探针）
33． 探针材质：镀金钨针 （其他材质可选）
34． 探针尖： 10μm
35． X 轴移动行程 ：20mm ±10mm（需手动推动滑台）
36． X 轴控制精度： ≥500μm
37． R 轴移动行程： 120° ±60°（需手动旋转探针杆）
38． R 轴控制精度： ≥500μm
39． Z 轴移动行程 ：2mm ±1mm
40． Z 轴控制精度： ≤50μm（需手动螺纹调节探针杆）
四：主要配置要求
1． 1 台 · 新微型高低温探针台 KT-Z4019MRL4T
2． 1 台 · 触摸屏温控箱
3. 1 个 · 6mm 聚四氟管
4. 1 根 · 电源线
5. 2 个 · 6mm 金属内衬
6． 1 根 · 触摸屏笔
7. 4 个 · SMA-香蕉插头
8. 1 根 · 功率输出线
9. 6 米 · 6mm 水冷管
10. 1 套 · K 型上盖扳手、备用螺丝， 内六角
11. 选配: 分子泵真空机组 机械泵
