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光伏装备中的等离子刻蚀机、制绒机、丝网印刷机所用到的工艺和技术与半导体装备相通性很高。这类产品，与国家的基础工业水平息息相关，是材料、机电、精密加工等多项先进技术的集成，而我国这几类设备依赖进口。
大尺寸硅片加工设备
国内目前的125mm规格硅片大多采用6英寸单晶炉拉制单晶生产，为满足156mm电池片生产的需要，就必须改用8英寸单晶炉，但其生产成本将远高于多晶铸锭法生产的硅片，是电池企业无法接受的。因此，光伏用156mm硅片将转向多晶硅片，改用多晶硅铸锭炉生产，将拉动对相关铸锭、切割等生产设备的巨大需求。
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