低温等离子废气净化器降解污染物是利用高能电子、自由基等活性粒子与废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，已达到降解污染物的目的 等离子体被称作除固态、液态和气态之外的第四种物质存在形式。等离子体是由电子、离子、自由基和中性离子组成的导电性流体，整体保持电中性。按离子的温度，等离子体可分为热平衡等离子体（热等离子体）和非平衡等离子体（低温等离子体）。在热平衡等离子体中，电子与其他离子的温度相等，一般在5000K以上；在非平衡等离子体中，电子温度一般要高达数万度，而其他离子的温度只有300—500K。
低温等离子废气净化器高能电子起决定性作用。数万度的高能电子与气体分子（原子）发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解、电离等一些列过程，使气体处于活化状态。电子的能量较低时，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当电子平均能量超过污染物分子化学键结合能时，分子键断裂，污染物分解，低温等离子废气净化器其主要原理采用脉冲高压高频等离子体电源和齿板放电装置，使其产生高强度、高浓度、高电能的活性自由基，在毫秒级的时间内，瞬间对有害废气分子进行氧化还原反应，将废气中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易处理的物质。
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