等离子光氧一体机采用低温等离子体分解油雾、废气污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能离子与介质内分子发生非弹性碰撞，将能量转化成基态分子的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程使污染介质处于活化状态。
污染介质在等离子体的作用下，产生活性自由基，活化后的污染物分子经过等离子体定向链化学反应后被脱除。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链断裂，污染介质分解，并在等离子发生器吸附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能发生各类型的化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质分子浓度及共存的介质成分。
等离子光氧一体机有足够的能量来产生自由基，引发一系列复杂的物理、化学反应。由低温等离子体引起的气体有机物化学反应是在气相中进行的电离、离解、激发、原子分子间的相互结合及加成反应。这个能量足以使大多数气态有机物中的化学链发生断裂，从而使其降解。
由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁的发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方式势在必行。降解挥发性有机污染物传统的处理方式如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VCOs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VCOs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。
