低温等离子废气处理设备在处理聚合物表面发生的交联、化学改性、刻蚀主要是因为等离子体使聚合物表层分子发生断键生成大量的自由基。实验说明，随着等离子处理时间的延长、放电功率增大,生成的自由基强度增加，达到最大点后进入一种动态平衡;放电压力在某一定值时,自由基强度出现最大值，即在特定条件下低温等离子体对聚合物表面反应的程度最深。
低温等离子废气处理污染物的机理：
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1) 电场＋电子→高能电子
(2) 高能电子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团) 活性基团
(3) 活性基团＋分子(原子)→生成物+热
(4) 活性基团＋活性基团→生成物+热
低温等离子废气处理设备在投入工业生产中后，能够有效地利用氯酸盐进行电解和分解有害物质，以超强的吸附功能进行空气净化处理。当等离子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面时，荷电在电场浸染下颗粒污染物被集尘极收集。且它在零件设备上还具有下列特征：结构合理、紧凑、体积适中、重量轻、选材寿命长、维护精练、使用耗材成本低。采用深冷法设备，能耗高、投资年夜、下场差。
当等离子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面时，荷电在电场浸染下颗粒污染物被集尘极收集。且它在零件设备上还具有下列特征：结构合理、紧凑、体积适中、重量轻、选材寿命长、维护精练、使用耗材成本低。采用深冷法设备，能耗高、投资年夜、下场差。
由此可见，低温等离子废气处理设备在功能上具有净化空气和调节环境的作用，并且它的组成零件还将朝着多技术型领域不断发展。
低温等离子废气处理技术在废气处理中的应用随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多，这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染，这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害；另外工业烟气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化，酸雨(主要来源于工业排放的硫氧化物和氮氧化物) 的危害引起了各国的重视。由于大气受污染而酸化，导致了生态环境的破坏，重大灾难频繁发生，给人类造成了巨大损失。因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。
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