废气的光解氧化机理包括两个过程

1.在产生高能离子群体的过程中，一定数量的有害气体分子受高能作用，本身分解成单质或转化为无害物质。
2.含有大量高能粒子和高活性的自由基的离子群体，与大分子气体(如苯、甲苯等)作用，打开了其分子内部的化学键，转化为无害的小分子物质。新生态的氧离子具有很强的氧化性，它能有效的氧化分解不受负离子作用控制的有机物。和废气反应后多余的氧离子(正)，能与氧离子(负)很快结合成中性氧，因而不会更多地对设备及环境造成不利影响。
1.恶臭物质能否被裂解，取决于其化学键键能是否比所提供的UV 光子的能量要低。
2.裂解时间是否足够1S，氧化反应的时间是否达到5-8S;
3.提供的 UV 光子总功率不够或者含氧量不足，会因为裂解或氧化不完全而生成一些中间副产物，从而影响净化效率。对于高浓度大分子的有机恶臭物质体现得较为明显。
4.UV 光解净化的长期稳定、高效，需要反应温度<60℃，粉尘量<100mg/m 3 ，相对湿度<97%。
5.废气物质中若某种特殊化学元素的含有量过高 (如 Cl、 F 等) ，也会导致强化剂臭氧的生成量大大降低，最终影响总体的净化效果。