1、可以看出,在其它条件基本相同的条件下,环境温度太高时,274、275超高真空扩散泵油的极限真空测试结果偏高,根据企业标准,274超高真空扩散泵油的极限真空[1@10-5Pa、275超高真空扩散泵油的极限真空[7@10-7Pa为合格,所以环境温度太高会导致产品不合格。
2、为了降低环境温度,我们特意安装了一台空调,将室温控制在25e以下。用批号为99-3-1的274超高真空扩散泵油样品做对比实验。
可以看出,使用空调后虽使环境温度下降(低于25e),但极限真空的结果仍偏高,不合格。
3、造成这一现象的原因主要有两个:一是冷热空气对流影响了极限真空的测试结果;二是来自空调机的部分空气分子经压缩后成为离子,此离子流对测试结果有影响。由电离规管工作原理可知,极限压力p正比于所测得的离子流;由于空气分子形成的离子流使所测离子流增大,因而导致极限真空的测试结果偏高。
若采用冷冻盐水冷却降温,使环境温度低于25e,可同时消除上述两种因素的影响,提高274、275超高真空扩散泵油极限真空测试结果的准确性。
4、结论
除气是极限真空测试的关键,彻底除气是准确测试极限真空的前提条件。将冷却循环水温度控制在10~25e时,可使极限真空的测试结果重复性较好。电离真空计使用冷阱后,所测得的极限真空降低,但结果偏差不大,可不用。环境温度过高,会使极限真空的测试结果偏高,达2个数量级;所以应将环境温度控制在10~25e。使用空调机使室温降至25e以下,却未能使极限真空测试结果有所下降,仍不合格,因此建议使用冷冻盐水降低环境温度。
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