联网无尘箱 百级无尘箱 光刻工艺专业无尘烘箱

一、产品名称及型号： 

1.产品名称：无尘烘箱

2.产品型号：CM-100 S350

3.无尘等级：Class 100；

4.含氧量：40min达100ppm以下；（预留氧含量测试孔）

5.温度范围： 常温～ +350℃；（客户工艺需要长期在300℃以上运行）

6.温度均匀度：±2% （空载）

7.升温速度：>5℃/min ，升温斜率可控，升温速度可以通过加热系统控制调节。

8.降温：风冷夹层降温，200℃～ 120℃，3.5度/分钟，120℃～ 65℃约1.5度/分钟。

9.电磁锁：启动设备运行中，电磁门锁锁门，运行未结束，人工不能开门。

10.电源：AC380V 3φ 50Hz，8.5Kw

11.设备型号：

二、箱体结构：

1.烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成，结构合理，外观美观大方。

2.全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘。

3.箱体材料：外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘。

4.内胆材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污 避免烘烤产生 PARTICLE。

5.中桶材料：采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板，并经碱性苏打水清洁，去油污及氩焊密加工(防污染)。

6.保温材料:超细玻璃棉;

7.电热器:采用进口覆套式电热器 (SHEATHED HEATER)无尘化电热发生器。

8.洁净度:烤箱内部均采用无尘化配件及材料。

三、工作室的气流设计：

1.采用特殊设计，满足内腔Class 100洁净标准；

2.排气口：３"φ(附自动启闭风门)，以达到强烈循环效果而降温，排风加冷阱。

3.进气口：加附Ｎ２流量计控制进气量。入气口：10mm

4.压缩气体过滤器，可把气体过滤到CLASS 100，净化气体流量：300L/分钟。

四、先进可靠的测控系统

温控装置：智能控制系统,日本优易控
          10〃TFT真彩触摸薄屏 
           程式编辑：可预编120个程式，每个程式最大可编99段，共1200段
           历史数据查询(数据可以通过USB接口导出)

           三点温度记录     

五、完善的安全保护措施：漏电断路器//控制线路保险丝装置//超温防止保护装置//欠相保护//电热器过电流保护装置//马达电流过载保护//机台异常时蜂鸣器警示//门安全开关//三色指示灯

公司名称：上海旦顺实业有限公司