砾石实业专业供应氧化铝陶瓷坩埚,东莞市砾石实业投资有限公司,是一家集氧化铝陶瓷坩埚加工及销售于一体的生产型企业,成立于2009-08-05。自公司成立时起至今,就一直秉持着“以人为本,以客为尊,共同发展”的宗旨,全新全意的为广大工业陶瓷使用用户提供高品质的氧化铝陶瓷坩埚,同时为客户实现网络化和本地化相结合、优异、迅捷、低成本的专业物流服务,已经成为建筑用粘合剂领域的知名企业!
砾石实业是一家标准化,规范化和现代化结合的国际贸易公司。自公司成立以来,进出口贸易规模迅速发展,并成为国际贸易行业杰出企业。砾石实业进出口主营业务有氧化铝陶瓷坩埚等,公司依托有利的社会大环境,凭借良好的声誉和资深的国际贸易通道,凭借着满腔热情和严谨的工作态度,创造了一个个辉煌的业绩。我司在国家许可的范围内,为客户提供各类国际贸易服务。
氧化铝陶瓷坩埚,靶材的主要性能要求纯度纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”,8“发展到12”,而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。杂质含量靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。密度为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。晶粒尺寸及晶粒尺寸分布通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
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