光氧等离子净化一体机，等离子体中的离子、电子、激发太原子、分子及自由基都是极活泼的反应性物种，使通常条件下难以进行或速度很慢的反应变得快速，它们再进一步与污染物分子、离子反应，从而使污染物得到降解，尤其有利于难降解污染物的处理。
另外 ，由于活性离子和自由基气体放电时一些高能激发粒子向下跃迁能产生紫外光线，当光子或电子的能量大于半导体禁带宽度时，就会激发半导体内的电子，使电子从价带跃迁至导带，形成具有很强活性的电子空穴对，并进一步诱导一系列氧化还原反应的进行。
光生空穴具有很强的获得电子能力，可与催化剂表面吸附的O2和H2O发生反应生成羟基自由基，从而进一步氧化污染物。由于等离子体放电光催化过程有大量高能电子冲击、活性粒子、紫外线辐射等综合因素的协同作用，因而可以更快速有效地分解空气中有害物质和灭菌除臭。
近年来兴起的半导体光催化技术由于其能耗低,氧化性能强,已有大量研究。但该技术仍存在一些缺陷,如:反应受紫外光源限制;能量产率低;较难处理高浓度、大风量的气体等。对于这些问题的解决,研究者通过各种技术手段对光催化剂进行改性,进而提高光催化性能[2]。另一方面通过和各种外加场(超声波、电化学、等离子体等)进行耦合联用形成新型的高效光催化反应技术,取得了显著效果。尤其是低温等离子体在环境污染物处理方面的应用研究引起了人们的极大关注,被认为是环境污染物处理领域中最有广适性、最有发展前途的高新技术之一。目前,低温等离子体技术已经成功应用于烟气脱硫、脱氮、温室气体处理和VOCs的降解[6]。而低温等离子体和光催化的结合不但解决了光催化技术的一些难点,并且还使低温等离子体技术得到了优化。其操作条件更加温和,能耗进一步降低,过程中的副产物也得到了抑制。本文作者将介绍这一新技术处理污染物的基本原理,并从去除VOCs、NOx以及杀菌等方面介绍国内外对该技术的研究进展。
与目前国内常用的异味气体治理方法（活性炭吸附、液体吸收、燃烧法及生物法等）相比较，低温等离子体工业废气处理成套设备和技术具有如下特点：
1、高科技创新产品：“低温等离子体”技术是电子、化学、催化等综合作用下的电化学过程，是一全新的技术创新领域。是依靠等离子体在瞬间产生的强大电场能量电离、 裂解有害气体的化学键能，从而破坏废气分子结构，达到净化目的。
2、高效废气净化：本设备能高效去除挥发性有机物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，除臭效率可达98%以上，对于长期弥漫、积累的恶臭、异味，24小时内即可祛除，并且具有强力
