规格 中心高 测量直径 精度
平行方向μm 垂直方向μm
300 170 270 ≤8 ≤5
300 250 460 ≤8 ≤5
500 170 270 ≤8 ≤5
500 250 460 ≤8 ≤5
1000 170 270 ≤10 ≤8
1000 250 460 ≤10 ≤8
2000 230 400 ≤30 ≤20
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